適用尺寸：7-17英寸
設備精度：軟對硬精度：±0.10mm(CPK＞1.33)；硬對硬精度：±0.05mm(CPK＞1.33)
節拍：7.0-12.0 英寸≤7s/pcs；12.1-17.0英寸≤9s/pcs
良率：≥99.5%
稼動率：≥98%
工作正壓/負壓： 0.5~0.7Mpa，耗氣量1600L/min，＜-70Kpa，耗氣量800L/min